近日,微机电系统(MEMS)工艺在环境监测传感器领域的应用取得重大进展。采用MEMS技术的新型传感器体积较传统产品缩小30%以上,功耗降低40%,可适配化工反应釜周边、车间角落等狭小空间布点。该技术大幅降低单点监测成本,推动环境检测仪在中小企业的普及,同时为便携式、移动监测设备的性能升级奠定基础,加速监测模式从固定站向网格化延伸。
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